TAILLES D’OXYDE D’ALUMINIUM POUR LE RODAGE DE PLAQUETTES DE SILICIUM
Il existe de nombreux types d’oxyde d’aluminium sur le marché.
En raison de la technique de fabrication, il existe de l’oxyde d’aluminium calciné et de l’oxyde d’aluminium fondu.
Selon la phase cristalline, il existe l’oxyde d’aluminium α et l’oxyde d’aluminium β.
Alors, quel type d’oxyde d’aluminium est utilisé pour le rodage des plaquettes de silicium ?
C’est une sorte d’oxyde d’aluminium calciné par plaquettes blanches, Zhengzhou Haixu Abrasive Co., Ltd, le produit depuis de nombreuses années, dont la qualité est similaire à celle du JAPON FUJIMI et du Microgrit WCA des États-Unis.
Les tailles produites par les abrasifs Haixu sont les suivantes :
| TAILLE | D0 | D3 | D50 | D94 |
| HX-PWA/WCA40 | <77,6 | 39-44.6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
| HX-PWA/WCA35 | <64,2 | 35,4-39,8 | 23,8-27,2 | 15-17 |
| HX-PWA/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13,4-15,6 |
| HX-PWA/WCA25 | <40,1 | 24,4-28,2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| HX-PWA/WCA20 | <32,0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| HX-PWA/WCA15 | <25,2 | 14,8-17,2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
| HX-PWA/WCA12 | <20,3 | 11,8-13,8 | 7,6-8,8 | 4.5-5.3 |
| HX-PWA/WCA09 | <16,3 | 8,9-10,5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| HX-PWA/WCA05 | <12,5 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2h55-3h05 |
| HX-PWA/WCA03 | <10,0 | 4,8-5,6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
Les HX-PWA/WCA09, HX-PWA/WCA12 et HX-PWA/WCA15 sont largement utilisés pour le rodage des plaquettes de silicium.
