Il existe de nombreux types d’oxyde d’aluminium sur le marché, qui sont utilisés dans différents domaines.
Pour le rodage des plaquettes de silicium, utilisez généralement de l’oxyde d’aluminium calciné blanc plaquette, qui est en forme de plaque et dont les spécifications sont les suivantes :
COMPOSITION CHIMIQUE MOYENNE (TYPIQUE)
Al 2 O 3 > 99,0 %
SiO2 < 0,2 %
Fe2O3 <0,1 %
Na2O < 1 %
PROPRIETES PHYSIQUES ( TYPIQUES )
Dureté Mohs 9.0
Gravité spécifique > 3,9 g/cm 3
Forme en forme de plaque
RÉPARTITION GRANULOMETRIQUE DES PARTICULES
| TAILLE | D0 | D3 | D50 | D94 |
| POIDS/WCA40 | <77,6 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
| PWA/WCA35 | <64,2 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| POIDS/WCA30 | <50,4 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| PWA/WCA25 | <40,1 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| POIDS/WCA20 | <32,0 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| POIDS/WCA15 | <25,2 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| POIDS/WCA12 | <20,3 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| PWA/WCA09 | <16.3 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| PWA/WCA05 | <12,5 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
| PWA/WCA03 | <10,0 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
