Spécification de PWA pour le rodage d’une plaquette de silicium
PWA=Alumine blanche plaquettaire
Zhengzhou Haixu Abrasives Co., Ltd a été fondée en 1999.
À partir de 2018, nous avons commencé à produire de l’alumine blanche en plaquettes, y compris la taille PWA40 PWA35 PWA25 PWA20 PWA15 PWA12 PWA9 PWA5 PWA3.
La spécification du PWA pour le rodage des plaquettes de silicium est la suivante :
PSD (distribution granulométrique)
| Taille | dv-0 | dv-3 | dv-50 | dv-94 |
| MCA15 | <25,2 | 14,8-17,2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
| MCA12 | <20,3 | 11,8-13,8 | 7,6-8,8 | 4.5-5.3 |
| MCA09 | <16,3 | 8,9-10,5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
Composition chimique
| AL2OU3 | SiO2 | Fe2O3 | Par2De |
| >99,0 | <0,2 | <0,1 | <1 |
